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關(guān)鍵詞：多位相光柵分光器 模擬退火優(yōu)化算法 光互連 

摘要：設(shè)計(jì)了二維多位相光柵分光器的位相結(jié)構(gòu),并根據(jù)周期性位相結(jié)構(gòu)推導(dǎo)出位相光柵的二維分光公式,使用模擬退火優(yōu)化算法對(duì)二維8×16四位相光柵分光器的位相結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),得到了二維分光效率為70.03%、不均勻度僅為4.6×10-4的位相光柵。將優(yōu)化計(jì)算得到的位相分布結(jié)果進(jìn)行拆分,制作了光刻版,利用光刻版套刻制作了四位相光柵分光器樣品,并搭建光路對(duì)樣品的分光性能進(jìn)行了測(cè)試,結(jié)果表明,多位相結(jié)構(gòu)能顯著提高光柵的分束效率和均勻性。

半導(dǎo)體光電雜志要求:

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