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不同粒徑CuBr對高靈敏快響應室溫NH3氣體傳感器的影響
劉繼江; 劉志遠; 劉璽; 王洋洋; 咸婉婷; 楊思遠 中國電子科技集團公司第四十九研究所; 黑龍江哈爾濱150001
關(guān)鍵詞：氨氣傳感器 溴化亞銅 粒徑 靈敏度
摘要：采用真空熱沉積法,通過Ar氣體保護和調(diào)整陶瓷基底與蒸發(fā)源的距離,在陶瓷基底上制備出可室溫工作的兩種不同粒徑大小的Cu Br NH3傳感器。材料表征結(jié)果顯示,所制備的Cu Br是平均粒徑約為4μm和2μm純相材料。對不同粒徑Cu Br傳感器進行0.5ppm~10ppm的NH3測試,結(jié)果表明,對于10ppm的NH3,2μm粒徑傳感器的靈敏度比4μm粒徑傳感器的靈敏度高出3倍,也比一些以其它方法制備的Cu Br傳感器、半導體和聚合物傳感器具有更高的氨氣靈敏度,而且6s/25s的響應/恢復時間也比它們高2~3個數(shù)量級。2μm粒徑Cu Br NH3傳感器的高靈敏和快響應歸因于敏感材料Cu Br的小粒徑和多孔性。
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