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溝槽柵IGBT結構參數設計與動、靜態性能優化
Luther; Ngwendson; 朱春林; Ian; Deviny 丹尼克斯半導體; 英國林肯LN63LF; 新型功率半導體器件國家重點實驗室; 湖南株洲412001
關鍵詞：絕緣柵雙極晶體管 設計參數 溝槽柵 軟穿通
摘要：近年來，隨著溝槽柵軟穿通技術的發展，IGBT的性能不斷提升。溝槽柵IGBT的動、靜態性能與柵結構、栽流子存儲層、軟穿通緩沖層等密切相關。在實際應用中，需根據不同的應用需求如低導通壓降、低關斷損耗或寬安全工作區性能等，對IGBT的綜合性能進行優化設計。本文研究了溝槽柵IGBT的結構設計參數對器件性能的影響，并在此基礎上探索了基于低電感應用條件的電動汽車IGBT的參數設計。
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