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3.7~4.8μm中紅外帶通濾光膜研制
岳威; 梁靈芬; 王嘉欣; 張闊; 劉連澤 華北光電技術研究所; 北京100015
關鍵詞：帶通濾光膜 中紅外 膜系設計 工藝參數
摘要：以光學薄膜理論為出發點,系統介紹了3.7~4.8μm帶通濾光膜的理論設計與優化、實際生產制備以及成品測試方法。考慮到膜料性能及膜層匹配等問題,分別選用鍺和一氧化硅作為高低折射率材料,并以氧化鋁作為薄膜基底。確定了濾光膜的基礎膜系,并使用Filmaster軟件對膜系進行了設計和優化計算。在薄膜蒸鍍過程中,根據材料選取合適的鍍制工藝。通過溫度控制、離子輔助等方法研制出了可靠性與光譜特性皆優的帶通濾光膜,并對其光譜特性及膜層質量等進行了測試。根據設計目標修改工藝參數,最終確定可行的工藝流程,從而研制出了符合光學性能設計指標的3.7~4.8μm帶通濾光膜。
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