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基于一維卷積自編碼器—高斯混合模型的間歇過程故障檢測
關(guān)鍵詞：間歇過程 故障檢測 自編碼器 深度學(xué)習(xí) 高斯混合模型
摘要：傳統(tǒng)基于數(shù)據(jù)驅(qū)動的間歇過程故障檢測方法往往需要對數(shù)據(jù)的分布進行假設(shè),其模型多階段劃分不精確,導(dǎo)致故障檢測率受到影響.對此提出一種基于一維卷積自編碼器—高斯混合模型(One dimensional convolution-auto encoder-Gaussian mixture model,1DC-AE-GMM)的檢測新方法.該方法不需要對原始數(shù)據(jù)進行假設(shè),首先對原始數(shù)據(jù)進行等長和縮放處理,并以最小重構(gòu)誤差的原則在具有卷積和多個中間層的深層神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)上進行訓(xùn)練,以非線性的方式自動、精確地進行階段劃分和特征提取;然后在網(wǎng)絡(luò)的編碼層上建立高斯混合模型并進行聚類,在提取特征的同時大大減少了建立模型的計算量;最后結(jié)合馬氏距離提出全局概率檢測指標(biāo),實現(xiàn)故障檢測.通過在一類半導(dǎo)體蝕刻過程的仿真實驗,結(jié)果表明該方法可以有效地提高故障檢測率.
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