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Ti/Al/Ti干法刻蝕工藝中BCl3氣體作用研究
李淳東; 李知勛; 陳兵; 劉杰; 吳國特; 苗占成 重慶京東方顯示技術有限公司; 重慶400714
關鍵詞：干法刻蝕 bcl 3 側面保護 pr膠刻蝕速度
摘要：隨著顯示技術的發展,Ti/Al/Ti材料需求的厚度越來越厚,布線越來越窄。目前LTPS顯示技術中常規的設計為Ti/Al/Ti材料襯底使用無機膜,后續柔性OLED顯示技術新設計中Ti/Al/Ti襯底開始逐漸使用有機膜(聚酰亞胺等),Ti/Al/Ti干法刻蝕工藝面臨的挑戰越來越大。本文主要研究在常規Ti/Al/Ti干法刻蝕工藝中,BCl 3氣體對Ti/Al/Ti側面形態的影響以及對光刻膠刻蝕速率的影響,實驗結果表明:隨著BCl 3氣體流量的增加,Ti/Al/Ti側面保護膜的厚度越來越薄,對PR膠的刻蝕速率越來越小。本文研究結果便于更好地應對后續Ti/Al/Ti干法刻蝕襯底為有機膜的新工藝。
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