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小型半密封器件腔體壓力變化測量方法研究
關(guān)鍵詞：密封器件 壓力變化 測量方法
摘要：針對(duì)小型半密封器件腔體壓力變化無法采用真空計(jì)直接測量的特點(diǎn),提出了一種基于材料放氣率測量工作中使用的靜態(tài)壓升法和動(dòng)態(tài)流量法,將兩者結(jié)合使用的腔體壓力間接測量法,并針對(duì)某種典型半密封器件產(chǎn)品,采用微型測量傳感器進(jìn)行了原位模擬測試驗(yàn)證。模擬測試結(jié)果表明,所提出的腔體壓力計(jì)算測量法具有測量結(jié)果準(zhǔn)確,簡單可行,能解決小型半密封器件腔體壓力測量的難題。該方法適用于陀螺儀充油、制冷機(jī)腔體充氦、電推進(jìn)系統(tǒng)氙氣充裝等過程中的腔體壓力變化實(shí)時(shí)監(jiān)測。
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